发明名称 | 脉冲磁场电弧蒸发源 | ||
摘要 | 本实用新型涉及真空多弧离子镀膜机,具体是一种真空多弧离子镀膜机的脉冲磁场电弧蒸发源。包括引弧机构、靶块、水冷靶座、磁性元件,所述磁性元件包括电磁线圈和磁轭,电磁线圈由脉冲电源供电,产生脉冲磁场,磁性元件设置有电磁屏蔽套,磁性元件与水冷靶座之间设置有冷却水套。本实用新型利用脉冲电源供电,电磁线圈和磁轭产生电磁场,其电磁场可通过自动控制电流实现定量调节,所有蒸发源的磁场很容易达到一致;电磁屏蔽防止电磁辐射对外围电器和传感元件的干扰;电磁线圈采用间接水冷防止过热损坏,保证磁性元件正常工作。本实用新型靶块弧斑的运动轨迹更合理,靶块刻蚀更均匀,不易产生大颗粒离子的发射,可得到高质量的膜层。 | ||
申请公布号 | CN203668500U | 申请公布日期 | 2014.06.25 |
申请号 | CN201420030254.3 | 申请日期 | 2014.01.19 |
申请人 | 遵化市超越钛金设备有限公司 | 发明人 | 李飞;李兰民 |
分类号 | C23C14/32(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/32(2006.01)I |
代理机构 | 唐山永和专利商标事务所 13103 | 代理人 | 张云和 |
主权项 | 一种脉冲磁场电弧蒸发源,包括引弧机构、靶块、水冷靶座、磁性元件,其特征在于,所述磁性元件包括电磁线圈和磁轭,电磁线圈由脉冲电源供电,产生脉冲磁场,磁性元件设置有电磁屏蔽套,磁性元件与水冷靶座之间设置有冷却水套。 | ||
地址 | 064200 河北省唐山市遵化市新店子镇 |