发明名称 低电阻率接触
摘要 本发明公开了到半导体结构的低电阻率接触的实施例。在一个实施例中,一种半导体结构包括:半导体层;处于半导体层的表面上的、具有低带隙的半导体接触层;以及处于半导体接触层的与半导体层相对的表面上的电极。半导体接触层的带隙在0到0.2电子伏(eV)范围内并且包括0和0.2电子伏,更优选地在0到0.1eV范围内并且包括0和0.1eV,甚至更优选地在0到0.05eV范围内并且包括0和0.05eV。优选地,半导体层是p型。在一个具体实施例中,半导体接触层和电极形成到p型半导体层的欧姆接触,并且由于半导体接触层的低带隙,欧姆接触具有小于1x10<sup>-6</sup>欧姆·cm<sup>2</sup>的电阻率。
申请公布号 CN103890985A 申请公布日期 2014.06.25
申请号 CN201280044859.1 申请日期 2012.08.03
申请人 弗诺尼克设备公司 发明人 R.J.瑟里恩;J.D.里德;J.A.拉姆齐;A.L.格雷
分类号 H01L35/10(2006.01)I 主分类号 H01L35/10(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 马红梅;王忠忠
主权项 一种半导体结构,包括:半导体层;半导体接触层,处于所述半导体层的表面上,所述半导体接触层具有在0到0.2电子伏范围内并且包括0和0.2电子伏的带隙;以及金属电极,处于所述半导体接触层的与所述半导体层相对的表面上。
地址 美国北卡罗来纳州