发明名称 |
一种具有反射和电流阻挡特性的发光元件及其制造方法 |
摘要 |
本申请提供一种具有反射和电流阻挡特性的发光元件及其制造方法,包括1)在衬底上依次外延生长缓冲层、n型氮化镓基外延层、有源层和p型氮化镓基层;2)在p型氮化镓层上表面蚀刻出凹槽;3)用金属反射材料填充p型氮化镓层上的凹槽;4)制备电流阻挡层,该电流阻挡层覆盖所述金属反射材料;5)在电流阻挡层制备透明导电层,最后再制备p型电极和n型电极。本发明能够提升发光元件外量子效率,并且成本低、工艺简单且可靠性高。 |
申请公布号 |
CN103887384A |
申请公布日期 |
2014.06.25 |
申请号 |
CN201210559322.0 |
申请日期 |
2012.12.20 |
申请人 |
广东量晶光电科技有限公司 |
发明人 |
李琦 |
分类号 |
H01L33/14(2010.01)I;H01L33/10(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/14(2010.01)I |
代理机构 |
北京瑞恒信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11382 |
代理人 |
苗青盛;黄庆芳 |
主权项 |
一种具有反射和电流阻挡特性的发光元件制造方法,包括下列步骤:1)在衬底上依次外延生长缓冲层、n型氮化镓基外延层、有源层和p型氮化镓基层;2)在p型氮化镓层上表面蚀刻出凹槽;3)用金属反射材料填充p型氮化镓层上的凹槽;4)制备电流阻挡层,该电流阻挡层覆盖所述金属反射材料;5)在电流阻挡层制备透明导电层,最后再制备p型电极和n型电极。 |
地址 |
528251 广东省佛山市南海区平洲永安北路1号金谷光电社区 |