波长可变干涉滤波器、及其制造方法、光模块及电子设备

摘要

本发明涉及波长可变干涉滤波器、及其制造方法、光模块以及电子设备。其中，波长可变干涉滤波器的可动基板（52）具备可动部，以及在从基板厚度方向观察可动基板（52）的俯视观察中设置在可动部外侧的槽（526），槽（526）具有槽的深度尺寸相同的底面（526C）和与底面（526C）连续的侧面，侧面在沿着基板厚度方向截断可动基板（52）的截面观察中由圆弧形的第一曲面部（526A）和第二曲面部（526B）构成。

主权项

一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对配置；第一反射膜，设置在所述第一基板上；以及第二反射膜，设置在所述第二基板上，与所述第一反射膜相对，所述第二基板具备可动部和在从基板厚度方向观察所述第二基板的俯视观察中设置在所述可动部的外侧的槽，所述槽具有槽的深度尺寸相同的底面和与所述底面连续的侧面，所述侧面在沿着基板厚度方向截断所述第二基板的截面观察中由多个圆弧形的曲面部构成。