液体喷射头、液体喷射装置和压电元件

摘要

本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置和压电元件。其提供了具有不含铅且压电特性优良的压电元件的液体喷射头的制造方法。液体喷射头具备与喷嘴开口连通的压力发生室和压电元件，该压电元件具有第一电极、在上述第一电极上形成而包含铁锰酸铋镧的压电体层、在上述压电体层上形成的第二电极，上述压电体层，在粉末X射线衍射图案上，按照φ＝ψ＝0°测量时以20°＜2θ＜25°进行观测的衍射峰值的面积强度，为以20°＜2θ＜50°进行观测的衍射峰值的面积强度的总和的90％以上。

主权项

一种液体喷射头，其特征在于，具备与喷嘴开口连通的压力发生室和压电元件，该压电元件具有：第一电极；包含铁锰酸铋镧的压电体层，其形成在上述第一电极上；及第二电极，其形成在上述压电体层上，上述压电体层，在粉末X射线衍射图案中，按照φ＝ψ＝0°测量时以20°＜2θ＜25°进行观测的衍射峰值的面积强度，为以20°＜2θ＜50°进行观测的衍射峰值的面积强度的总和的90％以上，上述第一电极，包括含有氧化钛的第一氧化钛层、在上述第一氧化钛层上形成的且含有铂的铂层、在上述铂层上形成的且含有氧化钛的第二氧化钛层，在上述第二氧化钛层上形成有上述压电体层。