基于差动比较原理的自准直仪

摘要

基于差动比较原理的自准直仪，涉及一种自准直仪。为了解决目前自准直仪测量精度不高的问题。在激光器发射的光的光轴上依次设置起偏器、聚光镜、针孔和分光镜，激光器发射的激光束经起偏器透射之后入射至聚光镜，经聚光镜聚焦至针孔，透过针孔之后的光入射至分光镜，经分光镜反射之后的光入射至偏振分光镜，经偏振分光镜透射的光束入射至准直镜，经准直镜透射的光束入射至平面反射镜和λ/4波片，经λ/4波片透射的光束入射至角锥棱镜，经平面反射镜反射的光束沿入射光路返回并入射至第一面阵CCD光敏面；入射至角锥棱镜的光束反射后沿入射光路返回，入射至偏振分光镜，经偏振分光镜反射之后的光束入射至第二面阵CCD的光敏面。本发明作为自准直仪。

主权项

一种基于差动比较原理的自准直仪，其特征在于，它包括激光器（1）、起偏器（2）、聚光镜（3）、针孔（4）、分光镜（5）、偏振分光镜（6）、准直镜（7）、λ/4波片（8）、平面反射镜（9）、角锥棱镜（10）、第一面阵CCD（11）和第二面阵CCD（12）；在激光器（1）发射的光的光轴上依次设置起偏器（2）、聚光镜（3）、针孔（4）和分光镜（5），激光器（1）发射的激光束经起偏器（2）透射之后入射至聚光镜（3），经聚光镜（3）聚焦至针孔（4），透过针孔（4）之后的光束入射至分光镜（5），经分光镜（5）反射之后的光束入射至偏振分光镜（6），经偏振分光镜（6）透射的光束入射至准直镜（7），经准直镜（7）透射的光束入射至平面反射镜（9）和λ/4波片（8），经λ/4波片（8）透射的光束入射至角锥棱镜（10），经平面反射镜（9）反射的光束沿入射光路返回并入射至偏振分光镜（6）；经偏振分光镜（6）透射至分光镜（5），经分光镜（5）透射的光束入射至第一面阵CCD（11）的光敏面；入射至角锥棱镜（10）的光束反射后沿入射光路返回，顺次经λ/4波片（8）和经准直镜（7）透射后入射至偏振分光镜（6），经偏振分光镜（6）反射之后的光束入射至第二面阵CCD（12）的光敏面；第二面阵CCD（12）上图像作为基准图像，此光路与第一面阵CCD（11）上的光路环境相同，通过对两路光的图像进行差分计算，消除由于光路扰动引入的误差。