基于声激励的音叉式石英晶振谐振频率的测量方法及装置

摘要

本发明涉及音叉式石英晶振谐振频率的测量技术，具体是一种基于声激励的音叉式石英晶振谐振频率的测量方法及装置。解决了目前测量音叉式石英晶振的固有频率时易受外界电磁环境及测量空间限制导致结果不准确的技术问题。一种基于声激励的音叉式石英晶振谐振频率的测量方法，包括以下步骤：（a）对待测音叉式石英晶振采用声波进行激励；（b）在对声波频率进行扫描的同时引入一束探测光；（c）采集固定在空间位置上的一个接收面接收到的反射光强度变化信息，并将其强度转化为相应的电信号；（d）对反射光的电信号进行解调，根据频率响应曲线得到待测音叉式石英晶振的固有频率。本申请有效避免了电磁信号的干扰而且解决了狭小空间的探测的难题。

主权项

一种基于声激励的音叉式石英晶振谐振频率的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：（a）对待测音叉式石英晶振采用声波进行激励，声波的频率在音叉式石英晶振的固有频率附近进行扫描；（b）在对声波频率进行扫描的同时引入一束探测光入射至音叉式石英晶振的任意一个振臂的外侧面上，探测光打在振臂外侧面后产生的反射光与探测光所在平面呈竖直平面且该平面垂直于音叉式石英晶振的振臂外侧面；探测光与振臂外侧面所成角度为10°~80°；（c）采集固定在空间位置上的一个接收面接收到的反射光因反射方向变化引起的强度变化信息，并将其强度转化为相应的电信号，电信号变化幅度最大时表示此时音叉式石英晶振与声波发生共振；（d）对反射光的电信号进行解调，得到反射光强度变化量随扫描频率变化的频率响应曲线，根据频率响应曲线就可以得到待测音叉式石英晶振的固有频率。