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发明名称 成膜装置、成膜方法及记忆媒体
摘要
申请公布号 TWI441942 申请公布日期 2014.06.21
申请号 TW099110828 申请日期 2010.04.08
申请人 东京威力科创股份有限公司 日本 发明人 加藤寿;本间学;菊地宏之
分类号 C23C16/54;C23C16/455 主分类号 C23C16/54
代理机构 代理人 林秋琴 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;何爱文 台北市大安区敦化南路1段245号8楼
主权项
地址 日本
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