| 发明名称 | 激光图案检查装置 | ||
| 摘要 | 一种激光图案检查装置，包括：固定板；被构造为相对于所述固定板竖向移动并被构造为旋转的旋转板；被连接到所述旋转板的壳体；在所述固定板上方并发出激光束的激光发射单元；在所述壳体上的棱镜单元，所述棱镜单元折射从所述激光发射单元接收的所述激光束的第一部分并透射所述激光束的第二部分；以及在所述壳体上的光束分析仪，所述光束分析仪分析由所述棱镜单元折射的所述第一部分的图案。 | ||
| 申请公布号 | CN103868936A | 申请公布日期 | 2014.06.18 |
| 申请号 | CN201310324343.9 | 申请日期 | 2013.07.30 |
| 申请人 | 三星显示有限公司 | 发明人 | 李石柱;全镇弘 |
| 分类号 | G01N21/956(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/956(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 张红霞;周艳玲 |
| 主权项 | 一种激光图案检查装置，包括：固定板；被构造为相对于所述固定板竖向移动并被构造为旋转的旋转板；被连接到所述旋转板的壳体；安装在所述固定板上方并发出激光束的激光发射单元；在所述壳体上的棱镜单元，所述棱镜单元折射从所述激光发射单元接收的所述激光束的第一部分并透射所述激光束的第二部分；以及在所述壳体上的光束分析仪，所述光束分析仪分析由所述棱镜单元折射的所述第一部分的图案。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||