QCM传感器

摘要

提供一种QCM传感器，当想要在试样气氛中测定试样的物理量时，也能够高精度地检测测定试样的物理量。本发明的QCM传感器通过使试样与形成在石英振子表面的激励电极接触来检测试样的物理量，其特征在于，该QCM传感器具有：测定用石英振子，其具有作为检测对象的测定试样能够接触的第1电极和表面形成第1电极的第1石英基板；基准用石英振子，其具有作为检测测定试样的物理量时的基准的基准试样能够接触的第2电极和表面形成第2电极的第2石英基板；外壳，其收纳测定用石英振子和基准用石英振子；以及密封部，其在使基准试样与第2电极接触的状态下进行封闭。

主权项

一种QCM传感器，其通过在石英振子的表面使试样与激励电极接触来检测所述试样的物理量，其特征在于，所述QCM传感器具有：测定用石英振子，其具有作为检测对象的测定试样能够接触的第1电极和表面形成所述第1电极的第1石英基板；基准用石英振子，其具有作为检测所述测定试样的物理量时的基准的基准试样能够接触的第2电极和表面形成所述第2电极的第2石英基板；外壳，其收纳所述测定用石英振子和所述基准用石英振子；以及密封部，其设置于所述外壳，在使所述基准试样与所述第2电极接触的状态下进行封闭。