| 发明名称 |
Apparatus to measure thickness of SOI semiconductor layered structures |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CZ27013(U1) |
申请公布日期 |
2014.06.18 |
| 申请号 |
CZ20130028937U |
申请日期 |
2013.12.13 |
| 申请人 |
MASARYKOVA UNIVERZITA |
发明人 |
MÜNZ FILIP;HUMLÍ&Ccaron,EK JOSEF |
| 分类号 |
G01B11/06;G01B11/00;G01N21/00 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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