电子回旋共振加热系统真空抽气波导

摘要

本发明属于微波技术领域，具体涉及一种电子回旋共振加热系统真空抽气波导。本发明的抽气波导包括两个波纹波导、一个波导套管及一个真空抽口；两个波纹波导分别与传输系统的传输线相连，二者通过波导套管同轴定位组成一个整体，二者之间留有一定间隙；波导套管设有真空抽口，真空抽口连接真空抽气机组，用于传输系统的真空抽气。本发明的抽气波导解决了现有抽气波导难以兼顾有效抽速大且微波功率损耗小技术要求的技术问题；适用于传输线真空抽气，有效抽速大且微波功率损耗小，使传输系统能够稳定高效的传输大功率微波。

主权项

一种电子回旋共振加热系统真空抽气波导，包括两个波纹波导(1、3)、一个波导套管(2)及一个真空抽口(4)；其特征在于：两个波纹波导(1、3)分别与传输系统的传输线相连，二者通过波导套管(2)同轴定位组成一个整体，二者之间留有一定间隙；波导套管(2)设有真空抽口(4)，真空抽口(4)连接真空抽气机组，用于传输系统的真空抽气。