一种压电薄膜体声波谐振器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种压电薄膜体声波谐振器及其制备方法，包括衬底、空气腔、底电极层、压电层与顶电极层。该谐振器使用石墨烯作为器件的电极层，在该器件结构中无需使用支撑层，石墨烯底电极层与衬底的凹槽形成空气腔。底电极层上设置压电层，压电层上设置顶电极层。同时，使用本发明所述牺牲层制备工艺，能克服传统工艺中对高精度化学机械抛光设备的依赖，缩短研磨时间，快速得到平整的牺牲层表面。该新型压电薄膜体声波谐振器结构新颖，能够制备出高Q值，高机电耦合系数的压电薄膜体声波谐振器，可用于后续射频通信系统中滤波器、双工器以及多工器的制作，也可与不同的敏感薄膜相结合制作各种高性能传感器。

主权项

一种压电薄膜体声波谐振器，其结构包括衬底、空气腔、底电极层、压电层和顶电极层，其特征在于：衬底上顶面设置有凹槽与底电极层，该凹槽与其上的底电极层形成器件的空气腔，底电极层与空气腔的接触面具有平滑的边界，底电极层上设置压电层，压电层上设置顶电极层，所述底电极层和顶电极层为石墨烯层。