发明名称 |
应用于波前编码系统的相位掩膜板最优参数获取方法 |
摘要 |
本发明涉及一种应用于波前编码系统的相位掩膜板最优参数获取方法,该方法包括以下步骤:1)建立三个期待达成的优化目标,三个期待达成的优化目标是OTF离焦不变,MTF离焦不变以及PTF离焦不变;2)以离焦MTF、离焦PTF和离焦OTF分别计算Fisher信息;3)根据三个待优化目标对应的Fisher信息通过加权构建目标函数;4)根据步骤3)中所构建的目标函数获取相位掩膜板最优参数。本发明提供了一种可以使系统离焦相位调制传递函数的稳定性得到提升的应用于波前编码系统的相位掩膜板最优参数获取方法。 |
申请公布号 |
CN103869466A |
申请公布日期 |
2014.06.18 |
申请号 |
CN201410100473.9 |
申请日期 |
2014.03.18 |
申请人 |
西安电子科技大学;中国科学院西安光学精密机械研究所 |
发明人 |
魏静萱;赵惠;雷广智;庞志海 |
分类号 |
G02B27/00(2006.01)I |
主分类号 |
G02B27/00(2006.01)I |
代理机构 |
西安智邦专利商标代理有限公司 61211 |
代理人 |
姚敏杰 |
主权项 |
1.一种应用于波前编码系统的相位掩膜板最优参数获取方法,其特征在于:所述应用于波前编码系统的相位掩膜板最优参数获取方法包括以下步骤:1)建立三个期待达成的优化目标,所述三个期待达成的优化目标是OTF离焦不变,MTF离焦不变以及PTF离焦不变;2)以离焦MTF、离焦PTF和离焦OTF分别计算Fisher信息;;3)根据三个待优化目标对应的Fisher信息通过加权构建目标函数;所述目标函数的具体表现形式及优化约束条件如下所示:<maths num="0001"><![CDATA[<math><mrow><mi>min</mi><mrow><mo>(</mo><msqrt><mo>[</mo><mi>a</mi><mo>·</mo><msup><mi>m</mi><mn>2</mn></msup><mo>+</mo><mi>b</mi><mo>·</mo><msup><mi>n</mi><mn>2</mn></msup><mo>+</mo><mi>c</mi><mo>·</mo><msup><mi>l</mi><mn>2</mn></msup><mo>]</mo></msqrt><mo>)</mo></mrow></mrow></math>]]></maths>Subject to∫MTF(u,W<sub>20</sub>=0)du≥Th<img file="FDA0000478644970000012.GIF" wi="1627" he="864" />其中:min代表最小化操作;subject to代表优化时的约束条件;OTF,MTF以及PTF分别代表光学传递函数、幅度调制传递函数以及相位调制传递函数;J表示Fisher信息,用以评价系统性能对特定变量的敏感度;系统性能对特定变量是离焦参量W<sub>20</sub>;u是归一化后的空间频率;Para是相位板的参数集合;Ψ是离焦参量的最大取值范围;a,b和c分别代表对三个优化目标的加权因子;Th代表离焦量为0时的MTF曲线与频率坐标轴所构成的面积;4)根据步骤3)中所构建的目标函数获取相位掩膜板最优参数。 |
地址 |
710071 陕西省西安市太白南路2号 |