多晶硅锭边尾料表面预处理装置及其处理方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅锭边尾料表面预处理装置及其处理方法，解决了现有技术存在的环境粉尘污染严重，表面清理质量和效率均低下的问题。包括在长方体形腐蚀池体（1）的底面设置有排液管路（4），在排液管路（4）上设置有排液控制阀（5），在长方体形腐蚀池体（1）的左右两侧面底部均设置有池底凹槽（2），在池底凹槽（2）中设置有电加热器（3），在长方体形腐蚀池体（1）的内侧壁上分别设置有酸液输入管（8）、碱液输入管（9）、纯净水输入管（12）和压缩空气输入管（13），在长方体形腐蚀池体（1）的底面上设置有料筐支撑网罩台（6）和装有边尾硅料的料筐（10）。大大提高了硅锭边尾料的回用率。

主权项

一种多晶硅锭边尾料表面预处理装置，包括长方体形腐蚀池体（1），其特征在于，在长方体形腐蚀池体（1）的底面中央设置有排液管路（4），在排液管路（4）上设置有排液控制阀（5），在长方体形腐蚀池体（1）的左右两内侧面底部均设置有池底凹槽（2），在池底凹槽（2）中设置有电加热器（3），在长方体形腐蚀池体（1）内分别连通有酸液输入管（8）、碱液输入管（9）、净水输入管（12）和压缩空气输入管（13），在长方体形腐蚀池体（1）的底面上设置有料筐支撑网罩台（6），在料筐支撑网罩台（6）上活动设置有料筐（10），在料筐（10）中设置有边尾料（11）。