在活塞表面制备复合薄膜技术

摘要

本发明公开了一种在活塞表面制备复合薄膜技术。技术方案是：磁控溅射镀CrAl粘结层；磁控溅射沉积金属氮化物梯度层；掺杂类金刚石梯度复合涂层沉积，最后在碳素钢、铝合金等表面获得多层梯度类金刚石纳米复合涂层。

主权项

一种在活塞表面制备复合薄膜技术，其特征在于具体步骤为：1）超声波清洗线清洗和脱水、烘干活塞；2） 抽至预定真空度，充入氩气，偏压600‑1000V等离子处理时间5~10min；3）打开溅射靶1、3，电流6‑14A，偏压200‑400V，磁控溅射沉积CrAl金属层；4） 充入氮气，氮气和氩气流量比为15‑40%，保持电流不变，偏压200‑400V，磁控溅射沉积CrAlN金属层厚度1‑3微米；5）关闭上述溅射靶、打开金属靶2、4，靶电流控制在8～16A，甲烷流量以10sccm/min的增长速率，增加到200sccm，通过逐渐增加甲烷流量来控制成分变化，样品上施加600~1000V的负偏压，处理时间为90min，自然冷却，最后在碳素钢、不锈钢、硬质合金表面获得多层梯度类金刚石纳米复合涂层。