MEMS开关

摘要

一种MEMS开关，包括：衬底；所述衬底上的第一和第二信号线，所述第一和信号线各自在连接区域处终止；所述衬底上的下致动电极；可移动接触电极，悬置于所述第一和第二信号线的连接区域上。上致动电极设置在所述下致动电极上方。所述第一和第二信号线的连接区域与所述衬底相距第一高度，其中从所述连接区域延伸的信号线部分与所述衬底相距较低的高度，并且所述下致动电极设置在所述较低高度的信号线部分上方，使得掩埋所述较低高度的信号线部分。可用于致动电极的面积变得更大，并且减小了不需要的力和干扰。

主权项

一种MEMS开关，包括：衬底（101）；所述衬底上的第一和第二信号线(102、103)，所述第一和第二信号线各自在连接区域（102a、103a）处终止；所述衬底上的下致动电极（105）；可移动接触电极（108），悬置于所述第一和第二信号线（102、103）的连接区域（102a、103a）上；以及上致动电极（107），设置在所述下致动电极（105）上，所述上致动电极和下致动电极产生静电力，所述静电力移动所述可移动接触电极，以便所述可移动接触电极与连接区域电接触或不接触；其中所述第一和第二信号线的连接区域（102a、103a）与所述衬底（101）相距第一高度，其中从所述连接区域延伸的信号线部分（102b、103b）与所述衬底（101）相距较低的高度，并且其中所述下致动电极（105）设置在所述较低高度的信号线部分（102b、103b）上方。