一种基于氧化锌微米线的原位弯曲下力电性能测试方法

摘要

本发明属于材料性能测试领域，涉及一种基于氧化锌微米线的原位弯曲下力电性能测试方法。其特征是将单根氧化锌微米线的一端用银胶固定在表面有绝缘膜的单晶硅基底上，另一端用探针拨动实现弯曲；在弯曲的同时，通过在探针和银胶间加扫描电压信号，实现对其电学性能的原位实时测量。本发明的优点在于：将环境平台与吉时利4200这两种仪器有机结合，实现了对单根氧化锌力电性能的检测，其操作简便，实时性强，而且应用范围广泛，便于多种一维结构微纳材料的力电性能检测。

主权项

一种基于氧化锌微米线的力电性能测试方法，其特征在于首先利用化学气相沉积法制备氧化锌微米线，将管式炉温度设置为980°C，向炉中通入气体，流量比Ar：O₂=50sccm：1sccm，在氧化铝舟中按照摩尔比为1:1的ZnO粉和C粉充分混匀，将溅射有20nm金膜的硅片倒置于氧化铝舟中，放入炉管中部，反应20分钟后，就可以在硅片上生长出高质量氧化锌微米线；然后在显微镜下挑出单根，利用导电银胶将单根氧化锌线的一端固定在表面有绝缘膜的单晶硅片上，同时引出一根铜导线，而另一端保持自由状态；最后，将此单晶硅片固定在环境平台上，将固定端的铜导线连接到吉时利4200半导体测试系统上，利用环境平台上的探针接触到氧化锌线的自由端，用另一根铜导线将探针和吉时利4200相连，就这样连成了一个电流回路；通过探针的移动，实现对单根氧化锌微米线的弯曲，而在吉时利4200中施加扫描电压，就能实时监测氧化锌微米线在各种弯曲程度下的电学特性；对氧化锌微米线的电学性能测量是利用基于铜导线互联的吉时利 4200半导体测试系统。