发明名称 在干涉仪中补偿频率漂移的方法
摘要 一种在基于FT干涉仪的分光仪中补偿参考能源的频率漂移的方法,该分光仪具有一个算数单元,在其中获得表示响应于依赖参考能源的发射频率而生成的一个触发信号而收集的一个参考干涉图(40)的数据并且以同样的方法获得表示由FT干涉仪响应于也是依赖该参考能源的发射频率而生成的一个触发信号而记录的一个目标干涉图(42)的数据。该方法进一步包括该在该算数单元中对该表示该参考干涉图(40)的数据和该表示该目标干涉图(42)的数据进行比较从而确定在离开中心猝发(44)的至少一个区域(36)中的一个窗口W中的这些干涉图之间的一个相位偏移(d),以及在该算数单元中依赖于所确定的一个或多个偏移(d)生成一个数学变换,从而随后应用于控制该分光仪的运行以生成表示由该FT干涉仪记录的一个未知样本的一个频率稳定的干涉图的数据。
申请公布号 CN103874911A 申请公布日期 2014.06.18
申请号 CN201180074050.9 申请日期 2011.10.17
申请人 福斯分析股份公司 发明人 亨里克·V·朱尔
分类号 G01J3/45(2006.01)I 主分类号 G01J3/45(2006.01)I
代理机构 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人 白云;王漪
主权项 一种在基于FT干涉仪(4)的分光仪(2)中补偿参考能源(22)的频率漂移的方法,包括以下步骤:(a)在该分光仪(2)的一个算数单元(6)中获得表示响应于依赖该参考能源(22)的发射频率而生成的一个触发信号而收集的一个参考干涉图(40)的数据,从而反映该干涉仪(4)的一个移动光学元件(10)的位置;以及(b)随后获得表示由该FT干涉仪(4)响应于依赖该参考能源(22)的发射频率而生成的一个触发信号而记录的一个目标干涉图(42)的数据并使其进入该算数单元(6),从而反映该干涉仪(4)的一个移动光学元件(10)的位置;其特征在于,该方法进一步包括以下步骤:(c)在该算数单元(6)中对表示该参考干涉图(40)的数据和表示该目标干涉图(42)的数据进行比较从而确定在离开中心猝发的至少一个区域(36)中的这些干涉图之间的一个相位偏移;(d)在该算数单元(6)中依赖于所确定的一个或多个偏移(d)生成一个数学变换;以及(e)应用该数学变换从而控制该分光仪(2)的运行以生成表示由该FT干涉仪(4)记录的一个未知样本的一个频率稳定的干涉图的数据。
地址 丹麦希勒罗德