| 发明名称 | 微机电系统元件、电子装置、高度计、电子设备及移动体 | ||
| 摘要 | 本发明提供微机电系统（MEMS）元件、电子装置、高度计、电子设备及移动体，该MEMS元件能够构成可对准确的微小压力进行测量的压力传感器。该MEMS元件具备基板、和被形成在所述基板的第一面上的多个谐振子，在所述基板上具备至少一个可挠部和至少一个非可挠部，所述谐振子与所述可挠部以及所述非可挠部对应地配置。 | ||
| 申请公布号 | CN103864002A | 申请公布日期 | 2014.06.18 |
| 申请号 | CN201310670469.1 | 申请日期 | 2013.12.10 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 松沢勇介;茅野祐治 |
| 分类号 | B81B3/00(2006.01)I;G01C5/06(2006.01)I | 主分类号 | B81B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人 | 黄威;苏萌萌 |
| 主权项 | 一种微机电系统元件，其特征在于，具备：基板；多个谐振子，其被形成在所述基板的第一面上，在所述基板上具备至少一个可挠部和至少一个非可挠部，所述多个谐振子包括与所述可挠部对应的所述谐振子、和与所述非可挠部对应的所述谐振子。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||