| 发明名称 | 基于MEMS传感器的质量流量控制器的结构 | ||
| 摘要 | 一种基于MEMS传感器的质量流量控制器的结构，包括底座(2)和流量调节阀(5)，在底座(2)内设有流体通道，流量调节阀(5)串联在流体通道的出口(9)附近。该流体通道包括设在底座(2)前端与后端之间依次排列的/入口(1)、入口锥管段(3)和直管段(7)，在直管段(7)与出口(9)的相邻处与流量调节阀(5)串联连接；在直管段(7)的内表面设有MEMS传感器(4)。本实用新型的优点是：MEMS流量传感器直接设在流体通道的边缘，减少了自身对流场的干扰；流体通道的直管段为MEMS流量传感器提供了一个相对稳定的流场，响应速度快，零点稳定度高；不需要测量旁路，最大程度降低压损；提高了全量程测量精度重复性。 | ||
| 申请公布号 | CN203658851U | 申请公布日期 | 2014.06.18 |
| 申请号 | CN201320751067.X | 申请日期 | 2013.11.26 |
| 申请人 | 张松涛 | 发明人 | 张松涛 |
| 分类号 | G05D7/06(2006.01)I | 主分类号 | G05D7/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科兴园专利事务所 11233 | 代理人 | 王蕴;杨宝根 |
| 主权项 | 一种基于MEMS传感器的质量流量控制器的结构，包括底座(2)和流量调节阀(5)，在底座(2)内设有流体通道，流量调节阀(5)串联在流体通道的出口(9)附近，其特征在于，在流体通道的内壁设有MEMS传感器(4)。 | ||
| 地址 | 100070 北京市三环新城4号院1号楼2单元201 | ||