制造透明胞室分层结构的方法

摘要

制造透明胞室分层结构的方法包括：获得透明叠层结构，该叠层依次包括由光刻树脂构成的第一层、附加层和第二层，其中附加层吸收光刻方法中适于用来蚀刻第一层的树脂的射线；在第二层上形成掩模，该掩模限定待成形胞室的位置；选择性地移除由掩模限定的一部分第二层和附加层，从而在第二层和附加层中形成第一组胞室；将至少一种光学活性物质填充到第一组的胞室中；在掩模被移开后，穿过第二层和附加层照射由光刻树脂构成的第一层，从而选择性地，相对于第一层中与附加层的剩余部分对齐的部分，该第一层中位置与第一组胞室对齐的那部分变为永久凝固；对第一树脂层进行显影以形成第一树脂层中的第二组胞室；g)将光学活性物质填充入第二组的胞室中。

主权项

一种制造透明胞室分层结构(100)的方法，该方法包括如下步骤：a)获得透明的叠层结构，该叠层依次包括：由光刻树脂构成的第一层(10)、附加层(21)和第二层(22)，其中所述附加层(21)吸收光刻方法中适于用来蚀刻所述第一层的树脂的射线；b)在所述第二层(22)上形成掩模(30)，该掩模限定了待成形胞室(1)的位置；c)选择性地移除由所述掩模(30)限定的一部分所述第二层(22)和附加层(21)，从而在所述第二层和所述附加层中形成第一组的胞室(1)；d)将至少一种光学活性物质填充到第一组的胞室(1)中；e)在掩模(30)被移开后，穿过第二层(22)和附加层(21)照射由光刻树脂构成的第一层(10)，从而选择性地，相对于所述第一层(10)中与附加层的剩余部分(21a)对齐的部分，该第一层中位置与第一组的胞室(1)对齐的那部分变为永久凝固；f)对第一树脂层(10)进行显影，以形成第一树脂层中的第二组的胞室(1)；以及g)将光学活性物质填充入第二组的胞室(1)中。