发明名称 |
监测设备机台状况的方法 |
摘要 |
本发明提出了一种监测设备机台运行状态的方法,通过EAP服务器收集设备运行状态数据,并进入数据库,经过服务器对所述数据值的处理和分析,从而判断控制基板是否存在异常,达到对控制基板进行实时监控的目的,及时侦测故障并通知技术人员进行相应处理,避免造成更大损害,能够提高设备机台的利用率并达到一定的经济效益。 |
申请公布号 |
CN103871934A |
申请公布日期 |
2014.06.18 |
申请号 |
CN201410098498.X |
申请日期 |
2014.03.17 |
申请人 |
上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
发明人 |
葛斌 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
郑玮 |
主权项 |
一种监测设备机台状况的方法,包括步骤:EAP服务器间隔预定时间t向设备机台内部的控制基板发送索取数据值的信号;所述控制基板将所述数据值反馈至所述EAP服务器内;所述EAP服务器对所述数据值进行处理,并判断所述控制基板是否存在异常。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 |