DIFFUSION‑COOLED GAS LASER ARRANGEMENT AND METHOD FOR SETTING THE DISCHARGE DISTRIBUTION IN THE CASE OF A DIFFUSION‑COOLED GAS LASER ARRANGEMENT

摘要

Eine diffusionsgekühlte Gaslaseranordnung (1) mit einer ersten und einer zweiten Elektrode (2, 5) sowie einem zwischen den Elektroden (2, 5) angeordneten Entladungsspalt (4), wobei auf zumindest einer der Elektroden (5) entladungsspaltseitig ein Dielektrikum (13) angeordnet ist, ist dadurch gekennzeichnet, dass die dielektrische Dicke d/sres des Dielektrikums (13) zur Beeinflussung der Entladungsverteilung im Entladungsspalt (4) entlang zumindest einer Dimension der Elektrode (5), auf der das Dielektrikum (13) angeordnet ist, variiert, wobei d die Dicke des Dielektrikums (13) undεres die resultierende Dielektrizitätszahl des Dielektrikums (13) ist und an seiner dicksten Stelle eine Dicke von mindestens 1 mm aufweist oder größer als ein Hundertstel der Länge einer Elektrode oder größer als ein Tausendstel einer durch die Frequenz einer einzukoppelnden elektrischen Hochfrequenzleistung betimmten Wellenlänge ist.