发明名称 体声波谐振器及其制造方法以及使用体声波谐振器的射频装置
摘要 提供了一种体声波谐振器(BAWR)。所述BAWR可以包括第一电极、设置在第一电极上的压电层以及设置在压电层上的第二电极。在各个方面,第一电极、压电层和第二电极中的至少一个由碳基材料形成。
申请公布号 CN103858342A 申请公布日期 2014.06.11
申请号 CN201280049624.1 申请日期 2012.08.27
申请人 三星电子株式会社 发明人 孙尚郁;金德焕;金哲秀;朴浩洙;宋寅相;申济湜;李文喆;崔婧
分类号 H03H9/17(2006.01)I 主分类号 H03H9/17(2006.01)I
代理机构 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人 尹淑梅;戴嵩玮
主权项 一种体声波谐振器(BAWR),包括:膜,设置在空气空腔上;第一电极,设置在膜上;压电层,设置在第一电极上;以及第二电极,设置在压电层上,其中,第一电极、压电层和第二电极中的至少一个包括碳基材料。
地址 韩国京畿道水原市