发明名称 无电钯镀浴组合物
摘要 本发明涉及用于无电沉积钯和/或钯合金的含水镀浴组合物,和利用这些含水镀浴组合物的方法。含水镀浴包含钯离子源、还原剂、不含磷的氮化络合剂及包含1至5个膦酸酯残基的至少一种有机稳定剂。如果含水镀浴包含铜离子,所述含水镀浴和方法特别有用。
申请公布号 CN103857826A 申请公布日期 2014.06.11
申请号 CN201280050036.X 申请日期 2012.08.22
申请人 安美特德国有限公司 发明人 I-R.希尔泽科恩;J.韦格里希特;A.基利安
分类号 C23C18/44(2006.01)I 主分类号 C23C18/44(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 周李军;李进
主权项 1. 一种用于在铜或铜合金表面上无电沉积钯和/或钯合金的含水镀浴,所述镀浴包含:a. 钯离子源;b. 不含磷的至少一种氮化络合剂;c. 还原剂,其选自甲酸、甲酸衍生物、前述的盐及混合物;次磷酸盐化合物,例如次磷酸钠和次磷酸钾;胺-硼烷加合物,例如,二甲基胺硼烷;和d. 包含1至5个膦酸酯残基的至少一种有机稳定剂,其中,所述包含1至5个膦酸酯残基的稳定剂的浓度为:对于包含4和5个膦酸酯残基的稳定剂,为0.1至100mmol/l,对于包含1、2和3个膦酸酯残基的稳定剂,为50至500mmol/l,并且其中所述至少一种有机稳定剂选自式(1)的化合物<img file="201280050036X100001DEST_PATH_IMAGE002.GIF" wi="220" he="120" />其中R1选自<img file="201280050036X100001DEST_PATH_IMAGE004.GIF" wi="226" he="104" />、<img file="DEST_PATH_IMAGE006.GIF" wi="180" he="106" />、氢、甲基、乙基、丙基和丁基;R2选自<img file="DEST_PATH_IMAGE008.GIF" wi="223" he="97" />、<img file="DEST_PATH_IMAGE010.GIF" wi="176" he="107" />、<img file="DEST_PATH_IMAGE012.GIF" wi="197" he="111" />、氢、甲基、乙基、丙基和丁基;R3选自<img file="DEST_PATH_IMAGE014.GIF" wi="227" he="102" />、<img file="DEST_PATH_IMAGE016.GIF" wi="176" he="101" />、氢、甲基、乙基、丙基和丁基;R4选自<img file="DEST_PATH_IMAGE018.GIF" wi="220" he="103" />、<img file="DEST_PATH_IMAGE020.GIF" wi="303" he="164" />、氢、甲基、乙基、丙基和丁基;n为1至6的整数;m为1至6的整数;o为1至6的整数;p为1至6的整数;并且X选自氢和适合的反离子。
地址 德国柏林