发明名称 沟渠式半导体元件及其制作方法
摘要
申请公布号 TWI441335 申请公布日期 2014.06.11
申请号 TW098112026 申请日期 2009.04.10
申请人 茂达电子股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区笃行一路6号 发明人 林伟捷;林礼政
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人 戴俊彦 新北市永和区福和路389号6楼之3;吴丰任 新北市永和区福和路389号6楼之3
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区笃行一路6号