用于在意外中断之后恢复工件的线锯过程的方法

摘要

本发明涉及用于使用线锯将工件锯切成多个晶片的中断过程恢复的方法。通过特殊的锯线的向前和向后的移动顺序，避免在锯切晶片的表面中形成深锯切口。

主权项

用于恢复使用线锯将工件5锯切成多个晶片的中断过程的方法，其包括跨越由平行布置的多个线区构成的线网4的锯线3，在向前移动下锯线3从供线线轴1a展开，并导引经过至少一个可旋转的偏向滑轮2而进入线网4，通过至少一个其他的可旋转的偏向滑轮2再次离开线网4，缠绕在收取线轴1b上，并在中断之前在限定的时间间隔中使锯线3交替地向前移动长度L1和向后移动长度L2；为了恢复中断过程，在锯线3的液体锯切介质的加入下，通过在锯线3的第一速度v1下的向前移动使线网4穿入工件5的已有锯切口，直至线网4或工件5到达线锯过程的中断位置，并使锯线3停止，其中当恢复锯线过程时，线3在限定的时间间隔下交替地在速度v下向前移动长度L3和在速度v’下向后移动长度L4，L4短于L3，并且向前移动和向后移动相当于周期Z，并且在每个向前移动过程中、每隔一次向前移动中或在任意数量的向前移动之后，在向前移动增大过程中线长L3展开，直至线长L3相当于干扰前的向前移动的线长L1。