发明名称 Integrierter Schaltkreis mit einer Speicherzellenanordnung
摘要 <p>Integrierter Schaltkreis mit einer Speicherzellenanordnung (100), wobei die Speicherzellenanordnung (100) aufweist:•eine Mehrzahl von Speicherzellen, welche aufeinander oder übereinander in einer Finnenstruktur (154) angeordnet sind;•eine Schalterstruktur mit Schalterelementen, wobei mindestens einige der Schalterelemente aufeinander oder übereinander angeordnet sind, wobei jedes Schalterelement einer jeweiligen Speicherzelle zugeordnet ist;•wobei die Speicherzellenanordnung (100) eine NAND-Speicherzellenanordnung ist, wobei die Finnenstruktur (154) sich in ihrer longitudinalen Richtung als einer ersten Richtung erstreckt, wobei die Finnenstruktur (154) aufweist:•eine erste Isolationsschicht (156);•eine Mehrzahl von ersten aktiven Bereichen (158) einer ersten Mehrzahl von Speicherzellen, welche miteinander in Serienverbindung in der ersten Richtung gekoppelt sind und welche auf oder über der ersten Isolationsschicht (156) angeordnet sind;•eine zweite Isolationsschicht (160), welche auf oder über den ersten aktiven Bereichen (158) angeordnet ist; ...</p>
申请公布号 DE102007063640(B4) 申请公布日期 2014.06.05
申请号 DE20071063640 申请日期 2007.05.11
申请人 QIMONDA AG 发明人 NAGEL, NICOLAS, DR.;SPECHT, MICHAEL, DR.;HOFMANN, FRANZ, DR.;MIKOLAJICK, THOMAS
分类号 H01L27/115;H01L21/8247 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
地址