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<p>Ein Kühlsystem für zumindest eine Systemkomponente (24) eines optischen Systems für EUV-Anwendungen weist zumindest einen Kühlkanal (90) und ein Kühlmedium (92) zum Durchleiten durch den zumindest einen Kühlkanal (90), Aufnehmen von Wärme von der zumindest einen Systemkomponente (24) und zum Abführen der Wärme auf. Das Kühlmedium (92) weist ein nicht entflammbares dielektrisches Fluid, ausgenommen reines Wasser, auf.</p> |
