电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法

摘要

本发明提供了一种电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法。该水平检测装置包括：宏微位移平台；位移台，固设于宏微位移平台确定的X-Y平面上，可在该X-Y平面上进行位移，电解池与该位移台相对静止；探针电极，固设于宏微位移平台确定的Z方向上，其检测端浸入垂直向下进入电解池内的电解液中，距离电解池内的工件预设距离；以及电化学工作站，其工作电极连接至探针电极，其辅助电极和参比电极均连接浸入电解池内的电解液中，控制工作电极电位恒定，检测该工作电极随位移台的运动而变化的电流信号，获得电流信号曲线，由电流信号曲线的起伏幅度获知电解池内工件的倾斜程度。本发明可提高电解液中工件水平检测的精度。

主权项

一种电化学体系中工件的水平检测装置，其特征在于，包括：宏微位移平台；位移台，固设于所述宏微位移平台确定的X‑Y平面上，可在该X‑Y平面上进行位移，电解池(6)与该位移台相对静止，可随所述位移台的运动而运动；探针电极，固设于所述宏微位移平台确定的Z方向上，其检测端垂直向下浸入所述电解池(6)内的电解液中，距离放置于所述电解液内的工件预设距离；以及电化学工作站，其工作电极(WE)连接至所述探针电极(7)，其辅助电极(RE)和参比电极(CE)浸入所述电解液中，控制工作电极(WE)电位恒定，检测该工作电极(WE)随所述位移台的运动而变化的电流信号，获得电流信号曲线，由该电流信号曲线的起伏幅度获知放置于所述电解液内工件的倾斜程度。