感光性树脂组合物及干膜抗蚀剂

摘要

提供了能够容易地形成可利用碱性水溶液进行显影、高敏感度，绝缘性、耐热性等诸特性以及介电性能优异的固化膜的感光性树脂组合物及干膜。该感光性树脂组合物含有(A)成分、(B)成分及(C)成分，(A)成分：对二乙烯基化合物(a)20～99摩尔%及单乙烯基化合物(b)80～1摩尔%进行共聚所获得的共聚物，侧链具有来自于二乙烯基化合物(a)的乙烯基的溶剂可溶性多官能乙烯基共聚物，(B)成分：含有使多元醇化合物与多元羧酸类反应所获得的含羧基共聚物(b)的碱可溶性树脂成分，及(C)成分：光引发剂，相对于(A)成分、(B)成分及(C)成分的总量，(A)成分为1～98.9wt%、(B)成分为98.9～1wt%、(C)成分为0.1～10wt%。

主权项

1.一种能够碱显影的感光性树脂组合物，其为含有(A)成分、(B)成分及(C)成分的感光性树脂组合物，其中(A)成分：对二乙烯基化合物(a)20～99摩尔%及单乙烯基化合物(b)80～1摩尔%进行共聚所获得的共聚物，来自于二乙烯基化合物(a)的由下述式(a1)所示的含有未反应的乙烯基的结构单元的含量为10～90摩尔%的溶剂可溶性多官能乙烯基共聚物，式中，R¹表示碳原子数6～30的芳香族烃基；(B)成分：含有使多元醇化合物与多元羧酸类反应所获得的含羧基共聚物(b)、酸值为50～200mgKOH/g的碱可溶性树脂成分；及(C)成分：光引发剂，其特征在于，相对于(A)成分、(B)成分及(C)成分的总量，(A)成分的配合量为1～98.9wt%、(B)成分的配合量为98.9～1wt%、(C)成分的配合量为0.1～10wt%。