钇钡铜氧超导薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种钇钡铜氧超导薄膜的制备方法，首先在单晶铝酸镧基片上将无氟钇钡铜氧溶胶制得钇钡铜氧凝胶膜，然后将其干燥后依次经过热处理、结晶和渗氧处理，冷却后得到钇钡铜氧超导薄膜。本发明制备方法通过在低温热处理过程中引入二氧化碳来控制含钡相的转化，使可逆反应：Ba(OH)₂+CO₂＝BaCO₃+H₂O始终朝着生成碳酸钡的方向进行，避免了因氢氧化钡高温熔化造成钇钡铜氧超导薄膜表面粗糙的问题；通过高温热处理过程引入水蒸气使得上述可逆反应朝着生成氢氧化钡的方向进行，使碳酸钡完全转变为氢氧化钡，同时氢氧化钡又与氧化钇、氧化铜进一步反应生成钇钡铜氧相，从而获得表面质量良好且超导性能优异的钇钡铜氧薄膜。

主权项

钇钡铜氧超导薄膜的制备方法，其特征在于，首先在单晶铝酸镧基片上将无氟钇钡铜氧溶胶制得钇钡铜氧凝胶膜，然后将钇钡铜氧凝胶膜干燥后依次经过热处理、结晶和渗氧处理，冷却后得到钇钡铜氧超导薄膜；所述干燥后的钇钡铜氧凝胶膜的热处理在预设温度为100℃的水平石英管式气氛烧结炉中进行，具体步骤为：首先在由0.1～5%vol氧气、1～10%vol水蒸气和余量氮气组成的混合气氛中升温至350～420℃，然后在由0.1～5%vol氧气、0.1～10%vol二氧化碳和余量氮气组成的混合气氛中升温至450～600℃，再在由0.1～5%vol氧气和余量氮气组成混合气氛中升温至650～700℃。