微电子机械悬臂梁开关式微波功率耦合器及其制备方法

摘要

本发明的微电子机械悬臂梁开关式微波功率耦合器不但具有低损耗、高隔离度和良好的方向性，而且该微波功率耦合器具有紧耦合和松耦合两种工作状态。该结构以砷化镓为衬底，具有两个MEMS悬臂梁结构，它位于主微带线和过渡微带线之间的空隙中，其MEMS悬臂梁的锚区与主微带信号线相连接；悬臂梁下方具有驱动电极，在驱动电极上覆盖氮化硅介质层；在悬臂梁自由端下方具有带凸点的过渡微带信号线，且其凸点上没有氮化硅介质层。通过控制MEMS悬臂梁结构有无驱动电压，使MEMS悬臂梁处于DOWN或UP态，实现主微带线和过渡微带线是否形成电气连接，从而该微波功率耦合器实现紧耦合或松耦合状态。

主权项

一种微电子机械悬臂梁开关式微波功率耦合器，其特征在于：以带背金的砷化稼为衬底：在砷化镓衬底（18）背面有一层金属，其用于实现微带线结构的共地面，采用金材料构成，在砷化稼衬底（18）上，设有微带信号线：主微带信号线（5），副微带信号线（6），过渡微带信号线（7），耦合微带信号线（20），以及MEMS悬臂梁（9），空气桥（15）和终端隔离电阻（16），该结构具有两个相同的MEMS悬臂梁（9），其MEMS悬臂梁（9）的锚区（10）与主微带信号线（5）相连接；MEMS悬臂梁（9）下方具有驱动电极（11），在驱动电极（11）上覆盖氮化硅介质层（14），驱动电极（11）由引线（12）与压焊块（13）相连接；在MEMS悬臂梁（9）自由端下方具有带凸点（8）的过渡微带信号线（7），且其凸点（8）上没有氮化硅介质层（14）。