一种调焦调平装置及调焦调平方法

摘要

本发明提供的一种调焦调平装置及调焦调平方法，采用空间光调制器，使其可以根据基板的厚度调制测量光斑，改变测量光斑的尺寸，避免产生探测光斑重影的现象，从而提高了探测精度，进而对基板有着较强的适应性，且调制灵活，方便可靠。

主权项

一种调焦调平装置，包括照明单元、投影单元、成像单元和探测单元，其特征在于，所述投影单元包括空间光调制器；其中，所述照明单元的测量光斑入射到投影单元，经空间光调制器调制，出射至基板上，经所述基板反射后再经过所述成像单元进入所述探测单元。