主权项 |
一种光学元件偏心测量装置,其特征在于包括:升降支架(1)、位移传感器(2)、力传感器(3)、待测光学元件(4)、支撑单元(5)、升降旋转台(6)、基座(7)及数据处理和控制单元;其中:升降支架(1)与升降旋转台(6)底面固定在基座(7)上;位移传感器(2)与力传感器(3)连接在升降支架(1)的第一支臂和第二支臂上,沿着升降支架(1)的丝杠上下调节位移传感器(2)和力传感器(3)到基座的高度;支撑单元(5)具有多个支撑点、一个升降支撑点和一个测力支撑点,其中多个支撑点固定在基座(7)上,升降支撑点连接在升降支架(1)的第一支臂上,测力支撑点连接在升降支架(1)的第二支臂上;待测光学元件(4)放置于支撑单元(5)的多个支撑点上,待测光学元件(4)的下表面与在基座(7)上的多个支撑点接触,待测光学元件(4)的侧面和上表面与连接在升降支架(1)上的升降支撑点和测力支撑点接触;力传感器(3)与待测光学元件(4)的侧面接触,力传感器(3)用于显示并记录力传感器(3)的初始示值;位移传感器(2)位于待测光学元件(4)上面,用于测量和显示待测光学元件(4)上表面上某一点处失高值;数据处理和控制单元与位移传感器(2)连接,获取并将待测光学元件(4)上表面上某一点处失高值生成位移信号,用于控制位移传感器(2)的探测杆上升至高点;数据处理和控制单元与升降旋转台(6)连接,获取并将位移传感器(2)的探测杆上升至高点数据信息生成升降信号,用于控制升降旋转台(6)上表面升起并托起待测光学元件(4)离开支撑单元(5)后连同测光学元件(4)进行旋转,旋转预定的角度后升降旋转台(6)开始下降,直至测光学元件(4)重新置于支撑单元(5)的多个支撑点之中;数据处理和控制单元控制位移传感器(2)的探测杆开始下降,直至接触到待测光学元件(4)的上表面,当力传感器(3)示值与之前相同时,数据处理和控制单元通过位移传感器(2)获得待测光学元件(4)上在该角度上的失高值;数据处理和控制单元,获取待测光学元件(4)不同方向上的失高值,用于计算失高差,完成待测光学元件(4)的偏心测量。 |