发明名称 |
一种探针卡 |
摘要 |
本实用新型提供一种探针卡,所述探针卡包括第一PCB板和第二PCB板以及与第二PCB板固定连接的可旋转装置,所述第一PCB板上的金属触点通过导线与所述第二PCB板的探针电性相连,所述可旋转装置转动时带动所述第二PCB板一并转动,进行一个方向的测试元件的测试后,可旋转装置旋转从而带动第二PCB板上的探针也随之转动,可保证晶圆X、Y方向上的器件经过一次装载后完成测试工作,节省了测试时间,提高测试效率。 |
申请公布号 |
CN203630173U |
申请公布日期 |
2014.06.04 |
申请号 |
CN201320805115.9 |
申请日期 |
2013.12.09 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
徐俊;许亮 |
分类号 |
G01R1/067(2006.01)I |
主分类号 |
G01R1/067(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种探针卡,包括具有金属触点的第一PCB板和具有探针的第二PCB板,其特征在于,还包括与所述第二PCB板固定连接的可旋转装置,所述金属触点通过导线与所述探针电性相连,所述可旋转装置转动时带动所述第二PCB板一并转动。 |
地址 |
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |