发明名称 一种探针卡
摘要 本实用新型提供一种探针卡,所述探针卡包括第一PCB板和第二PCB板以及与第二PCB板固定连接的可旋转装置,所述第一PCB板上的金属触点通过导线与所述第二PCB板的探针电性相连,所述可旋转装置转动时带动所述第二PCB板一并转动,进行一个方向的测试元件的测试后,可旋转装置旋转从而带动第二PCB板上的探针也随之转动,可保证晶圆X、Y方向上的器件经过一次装载后完成测试工作,节省了测试时间,提高测试效率。
申请公布号 CN203630173U 申请公布日期 2014.06.04
申请号 CN201320805115.9 申请日期 2013.12.09
申请人 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 发明人 徐俊;许亮
分类号 G01R1/067(2006.01)I 主分类号 G01R1/067(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种探针卡,包括具有金属触点的第一PCB板和具有探针的第二PCB板,其特征在于,还包括与所述第二PCB板固定连接的可旋转装置,所述金属触点通过导线与所述探针电性相连,所述可旋转装置转动时带动所述第二PCB板一并转动。
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