外观检查装置以及外观检查方法

摘要

检测因各种原因而发生的缺陷。本发明提供一种外观检查装置100，从照明试样S取得的图像数据探测试样S的缺陷。具有配置试样S的试样台110；观察试样S的显微镜12；具有第一光源131、从显微镜120的观察方向对试样S照射照明光的第一照明装置130；具有第二光源151、从斜方向对试样S照射照明光的第二照明装置150；摄像用上述照明装置照明的试样S的基于显微镜120的图像并输出彩色图像数据的彩色照相机140；根据彩色图像数据检查试样S外观的处理装置160。第一照明装置130、第二照明装置150具有对试样照射由应检查的缺陷原因决定的特定波长范围的照明光的第一波长选择结构132和第二波长选择结构152。

主权项

—种外观检查装置，具有：试样台，配置试样；照明装置，具有光源，该照明装置对上述试样照射照明光；摄像单元，对用上述照明装置照明的上述试样进行摄像，并输出彩色图像数据；以及检查处理部，根据上述彩色图像数据，检查上述试样的外观，该一种外观检查装置的特征在于，上述照明装置对于上述试样照射根据应检查的缺陷的原因而决定的特定的波长范围的照明光。