一种高功率激光光斑控制系统

摘要

本实用新型公开了一种高功率激光光斑控制系统，包括高功率脉冲激光器和低功率激光器，高功率脉冲激光器输出光路的中心线上依次设置有变形镜一、准直器一、分束镜一和光学共聚焦系统，连续激光器输出光路的中心线上依次设置有变形镜二、准直器二、分束镜二、光学共聚焦系统和CCD，光学共聚焦系统的聚焦光路上设置物镜和Z轴微移台，分束镜的反射光路上设置光强传感器；两个光强传感器和CCD均与FPGA模块的输入端相接，FPGA模块的输出端接有驱动Z轴电机的Z轴驱动器，Z轴电机与Z轴微移台相接，FPGA模块的输出端还与脉冲激光器和连续激光器相接。本实用新型设计合理，结构简单，控制精确，实现方便。

主权项

一种高功率激光光斑控制系统，其特征在于：包括高功率脉冲激光器（1）和低功率激光器（2），所述高功率脉冲激光器（1）输出光路的中心线上依次设置有变形镜一（3）、准直器一（5）、分束镜一（7）和光学共聚焦系统（9），所述连续激光器（2）输出光路的中心线上依次设置有变形镜二（4）、准直器二（6）、分束镜二（8）、光学共聚焦系统（9）和CCD（10），所述光学共聚焦系统（9）的聚焦光路上设置具有色差补偿功能的物镜（17）和Z轴微移台（14），所述分束镜一（7）的反射光路上设置光强传感器一（15），所述分束镜二（8）的反射光路上设置光强传感器二（16）；所述光强传感器一（15）、光强传感器二（16）和CCD（10）均与FPGA模块（11）的输入端相接，所述FPGA模块（11）的输出端接有用于控制所述Z轴微移台（14）的Z轴电机（13），所述FPGA模块（11）和Z轴电机（13）之间接有Z轴驱动器（12），所述FPGA模块（11）的输出端还与脉冲激光器（1）和连续激光器（2）相接。