一种多发光单元半导体激光器空间偏振测试装置

摘要

本实用新型提供一种多发光单元半导体激光器空间偏振测试装置，包括依次设置的多发光单元半导体激光器、快慢轴准直透镜组件、具有放大作用的显微物镜、位置可调的孔径光阑、以及偏振分束棱镜，透过孔径光阑的光经偏振分束棱镜，分为TE偏振光和TM偏振光，在形成的透射光路和反射光路上分别设置有光功率探测器。本实用新型能够测量多发光单元半导体激光器的空间偏振信息，进而实现定量评价半导体激光器封装所所产生的应力，从而改善封装工艺。

主权项

一种多发光单元半导体激光器空间偏振测试装置，包括依次设置的多发光单元半导体激光器、快慢轴准直透镜组件、具有放大作用的显微物镜、位置可调的孔径光阑、以及偏振分束棱镜，透过孔径光阑的光经偏振分束棱镜，分为TE偏振光和TM偏振光，在形成的透射光路和反射光路上分别设置有光功率探测器。