光刻胶回收再利用系统

摘要

本实用新型公开了一种光刻胶回收再利用系统，回收管路一（1）一端连接缓存槽一(81)上的排气阀一（82）、另一端连接回收槽（220）；回收管路二（2）一端连接缓存槽二（91)上的排气阀（92）、另一端连接回收槽（220）；回收管路三（3）一端连接回收槽（220）、另一端连接到过滤器（24）上的排气阀三（25）；回收供给管路（280）一端连接光刻胶供给槽二（90）、另一端连接至回收槽（220）；静电容量传感器（210）安装在回收槽（220）上；本实用新型设置了回收槽与回收管路，具有光刻胶回收功能，可以将浪费掉的光刻胶回收再利用，不仅可以减少资源的浪费，还可以达到降低成本的效果。

主权项

一种光刻胶回收再利用系统，包括光刻胶供给槽一（80）、光刻胶供给槽二（90）、缓存槽一(81)、缓存槽二（91)、三通阀（22）、喷淋泵(23)、过滤器(24)和止回阀(26)；光刻胶供给槽一（80）、缓存槽一(81)、三通阀（22）、喷淋泵(23)、过滤器(24)、止回阀(26)、晶元（10）依次通过管路连接；光刻胶供给槽二（90）、缓存槽二（91)同时连接三通阀（22）阀口；缓存槽一(81)、缓存槽二（91)、过滤器（24）上分别设有排气阀一（82）、排气阀二（92）、排气阀三（25）；其特征在于，还包括回收管路一（1）、回收管路二（2）、回收管路三（3）、回收供给管路（280）、静电容量传感器（210）和回收槽（220）；回收管路一（1）一端连接缓存槽一(81)上的排气阀一（82）、另一端连接回收槽（220）；回收管路二（2）一端连接缓存槽二（91)上的排气阀（92）、另一端连接回收槽（220）；回收管路三（3）一端连接回收槽（220）、另一端连接到过滤器（24）上的排气阀三（25）；回收供给管路（280）一端连接光刻胶供给槽二（90）、另一端连接至回收槽（220）；静电容量传感器（210）安装在回收槽（220）上。