Local transient analysis method

摘要

Spôsob uskutočňovania lokálnej nábojovej tranzientnej analýzy pomocou sondy rastrovacieho tranzientového mikroskopu sa vyznačuje tým, že sonda je umiestnená a premiestňovaná v malej vzdialenosti od zobrazovaného povrchu, vo zvolenom bode sa nastaví vhodná vzdialenosť sondy od povrchu a napájanie senzora na riadenie vzdialenosti sondy od povrchu sa vypne, uskutoční sa lokálna nábojová tranzientná spektroskopická analýza a následne sa napájanie senzora na riadenie vzdialenosti sondy od povrchu znovu zapne. Spoľahlivá analýza tranzientov je umožnená oddelením analyzovaného tranzientného prúdu od prúdu napájajúceho senzor na riadenie vzdialenosti sondy od povrchu, a to oddelením kroku nastavenia polohy sondy od kroku vlastného merania veličiny.