| 发明名称 |
硫酸之电解装置、电解方法及基板之处理装置 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI439571 |
申请公布日期 |
2014.06.01 |
| 申请号 |
TW097100796 |
申请日期 |
2008.01.09 |
| 申请人 |
芝浦机械电子装置股份有限公司 日本;东芝股份有限公司 日本;培尔梅烈克电极股份有限公司 日本 |
发明人 |
小林信雄;柴田幸弘;速水直哉;加藤昌明 |
| 分类号 |
C25B9/00;C25B1/28;C01B15/08 |
主分类号 |
C25B9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
