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经营范围
发明名称
检测光罩缺陷的方法
摘要
申请公布号
TWI439798
申请公布日期
2014.06.01
申请号
TW096142496
申请日期
2007.11.09
申请人
联华电子股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号
发明人
吴得鸿;闫世明;吴志浩;杨春晖
分类号
G03F1/00;H01L21/027
主分类号
G03F1/00
代理机构
代理人
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址
新竹市新竹科学工业园区力行二路3号
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