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发明名称 校正／修复微影投影曝光装置中之投影物镜的方法与此投影物镜
摘要
申请公布号 TWI439815 申请公布日期 2014.06.01
申请号 TW096124003 申请日期 2007.07.02
申请人 卡尔蔡司ＳＭＴ有限公司 德国 发明人 欧勒夫　洛葛斯基;波里斯　比特能;汤姆士　佩塔斯克;乔成　豪斯勒
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人 李宗德 台北市大安区敦化南路2段218号5楼Ａ区
主权项
地址 德国
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