发明名称 具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜
摘要
申请公布号 TWI440064 申请公布日期 2014.06.01
申请号 TW100135375 申请日期 2011.09.29
申请人 SNU精密股份有限公司 南韩 发明人 金锡;安宰亨;金宰湖
分类号 H01J37/26 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人 庄志强 台北市大安区敦化南路2段71号18楼
主权项
地址 南韩