发明名称 半导体装置及半导体装置之制造方法
摘要
申请公布号 TWI440135 申请公布日期 2014.06.01
申请号 TW096100146 申请日期 2007.01.03
申请人 瑞萨电子股份有限公司 日本 发明人 古泽健志;儿玉大介;松本雅弘;宫崎博史
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人 赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼
主权项
地址 日本