| 发明名称 | 光固化性树脂组合物及形成图案的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及含有(甲基)丙烯酸酯单体和/或低聚物及光聚合引发剂的光固化性树脂组合物，上述(甲基)丙烯酸酯单体和/或低聚物组合物含有环状结构，上述环状结构中碳的原子量Mcr和组合物中的全部碳的原子量MTOT的关系为Mcr/MTOT>0.1，或上述环状结构中的全部原子数N、上述组合物中的全部碳的原子数Nc和全部氧原子数No的关系为N/(Nc-No)<4，组合物的运动粘度为10mPa·s以下。该树脂组合物是可以用于光纳米印制的低粘度而干蚀刻性优异的光固化性树脂。 | ||
| 申请公布号 | CN101000462B | 申请公布日期 | 2014.05.28 |
| 申请号 | CN200710001703.6 | 申请日期 | 2007.01.12 |
| 申请人 | 日立化成工业株式会社 | 发明人 | 荻野雅彦;锻治诚;赖华子 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 陈昕 |
| 主权项 | 用于纳米印制的光固化性抗蚀剂材料，其特征在于，其由光固化性树脂组合物构成，所述光固化性树脂组合物包含多种(甲基)丙烯酸酯单体和／或低聚物、光聚合引发剂及表面活性剂，上述多种(甲基)丙烯酸酯单体和／或低聚物由含有环状结构的(甲基)丙烯酸酯单体和／或低聚物和二官能的(甲基)丙烯酸酯单体和／或低聚物构成，上述环状结构中的碳原子的合计原子量Mcr和上述组合物中的全部碳的合计原子量MTOT的关系为Mcr／MTOT>0.1，且上述组合物在23℃的运动粘度为10mPa·s以下。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||