取向碳纳米管集合体的制造装置及制造方法

摘要

本发明的取向碳纳米管集合体的制造装置具备：具备将原料气体喷射到基体材料(111)上的喷射口(12a)的喷射部(12)、排出原料气体的排气口(15)、设有多个排气口(13a)的排气部(13)，多个排气口(13a)位于比多个喷射口(12a)更靠近排气口(15)的一侧。

主权项

一种取向碳纳米管集合体的制造装置，该装置用于在表面负载有催化剂的基体材料上生长取向碳纳米管集合体，其特征在于，该装置具有生长单元，该生长单元向所述催化剂供给碳纳米管的原料气体，并对所述催化剂及所述原料气体中至少任一方进行加热，从而在所述基体材料上生长取向碳纳米管集合体，所述生长单元具有：喷射部，其具有将所述原料气体喷射到所述基体材料上的喷射口；第一排气口，从所述喷射部观察，其位于与载置有所述基体材料的载置面相反的一侧，并且，该第一排气口将从所述喷射口喷射并与所述基体材料接触后的所述原料气体从生长取向碳纳米管集合体时收纳所述基体材料的生长炉排出；排气部，其设有多个第二排气口，所述第二排气口将与所述基体材料接触后的所述原料气体向所述第一排气口进行排气，所述多个第二排气口位于比所述多个喷射口更靠近所述第一排气口的一侧。