掩膜版及对其进行缺陷检测的方法

摘要

本发明公开了一种掩膜版及对其进行缺陷检测的方法。所述掩膜版的图案区和密封框架之间设置有多个缺陷判定图案，从而在检测过程中，检测单元能够根据缺陷判定图案来自动选择和衡量所需要的点，这样就不需要技术人员手动操作，进而避免了人工操作可能带来的影响，同时采用本发明提供的掩膜版能够节省时间和人力，从而大大的提高工作效率和生产效率。

主权项

一种掩膜版，其特征在于，包括：图案区和密封框架，所述密封框架包围图案区，在所述密封框架和图案区之间具有多个缺陷判定图案。